特許

J-GLOBAL ID：200903076411048839

多層反射防止膜

発明者： 枇榔 竜二 ,  安藤 謙二 ,  鈴木 康之
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-239371
公開番号（公開出願番号）：特開平8-075902
出願日： 1994年09月07日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：

【要約】【目的】 波長400nm から700nm の可視光域で良好な反射防止特性を有し、基板との密着性が優れ、かつ低温で製造できる反射防止膜を達成すること。【構成】 透明な基板の上に空気側から順に低屈折率層と高屈折率層を相互に全体として6層積層する際、該低屈折率層はSiO2を含み、該高屈折率層はTiO2を含み、波長600nm に対する該高屈折率層と該低屈折率層の屈折率を各々NH ,NL とする時、NH ,NL を2.40≦NH ≦2.801.39≦NL ≦1.48とする。

請求項（抜粋）：

透明な基板の上に空気側から順に低屈折率層と高屈折率層を交互に全体として6層積層する際、該低屈折率層はSiO2を含み、該高屈折率層はTiO2を含み、波長600nm に対する該高屈折率層と該低屈折率層の屈折率を各々NH ,NL とする時、2.40≦NH ≦2.801.39≦NL ≦1.48であることを特徴とする反射防止膜