特許

J-GLOBAL ID：200903076414976265

角速度センサ

発明者： 森屋 和文
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-361962
公開番号（公開出願番号）：特開平11-173854
出願日： 1997年12月10日
公開日（公表日）： 1999年07月02日
要約：

【要約】【課題】 振動体の音叉振動による振幅を大きくして、角速度の検出感度を高める。【解決手段】 各振動体24を略Y字状の連結梁25で連結し、連結梁25の主軸部25Dには可動側振動用電極26が形成され、連結梁25の節Nを節固定部27により基板22に固定する。そして、可動側振動用電極26には対向する固定側振動用電極29が形成され、振動発生部31を構成する。この振動発生部31に駆動信号を印加すると、電極26,29間に静電力が発生し、主軸部25Dを矢示a1 ,a2 方向に振動させ、このY軸方向の振動を、各振動体24の矢示b1 ,b2 方向の振動に変換し、各振動体24に音叉振動を起こす。このとき、Y軸周りの角速度Ωが加わると、振動体24はZ軸方向に振動する。

請求項（抜粋）：

基板と、該基板の表面から離間した状態でX軸、Y軸、Z軸方向に振動可能に設けられ、X軸方向に間隔をもって配置された一対の振動体と、一端側が2本となって該各振動体にそれぞれ接続されると共に、中間部が連結されて他端側が1本の自由端となった連結梁と、該連結梁の他端側に設けられ、当該他端側をY軸方向に振動させることにより、前記各振動体にY軸を音叉軸とした音叉振動を発生させる振動発生手段と、該振動発生手段によって前記各振動体に音叉振動を与えた状態でコリオリ力により該各振動体がZ軸方向に変位したとき、この変位を検出する変位検出手段とから構成してなる角速度センサ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 慣性レートセンサー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-026017   出願人：ザ・チャールズ・スターク・ドレイパー・ラボラトリー・インコーポレイテッド
• 振動ジャイロ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-321312   出願人：株式会社村田製作所
• 特開平2-163611
  
• 特開平2-163611