特許

J-GLOBAL ID：200903076415006901

半導体ダイピックアップ用真空コレット

発明者： ロバート ジー.マッケンナ
出願人/特許権者： テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド
代理人 (1件)： 浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-311115
公開番号（公開出願番号）：特開平8-250574
出願日： 1995年11月29日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：

【要約】【課題】 半導体ダイ(11)をピックアップするための真空コレット(10)を得る。【解決手段】 プレート(12)は真空チューブ(15)と下方へ広がるスカート(19)とを有する。スカート(19)がダイの周囲に接触する。真空がプレートとダイとの間のスカートの内部に設置されたバッフル(16)によって半導体ダイの周囲へ分配される。

請求項（抜粋）：

半導体ダイをピックアップするための真空コレットであって、その中を真空が導かれる真空ポートを有するプレート、前記プレートから広がって、半導体ダイに対してその周囲において接触するためのスカート、および前記プレートと前記ダイとの間に挿入されて、空気が本質的に前記周囲から吸い出されるように前記真空の気流を導くためのバッフルを含むコレット。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B25J 15/06 ,  F16B 47/00 ,  H01L 21/301

FI (4件)：

H01L 21/68 B ,  B25J 15/06 K ,  F16B 47/00 S ,  H01L 21/78 Y