特許
J-GLOBAL ID：200903076424552315

サックバックバルブ

発明者：
佐藤 昭夫

佐藤 昭夫 について

, 
丸山 哲郎

丸山 哲郎 について

, 
津田 裕司

津田 裕司 について


出願人/特許権者：
エスエムシー株式会社

エスエムシー株式会社 について


代理人 (1件)： 千葉 剛宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-244600
公開番号（公開出願番号）：特開2000-074240
出願日： 1998年08月31日
公開日（公表日）： 2000年03月14日
要約：
【要約】【課題】配管接続作業を不要とするとともに設置スペースの縮小化を図り、ダイヤフラムの応答精度を向上させ、しかもパイロット圧並びに吸引される圧力流体の流量を高精度に制御することにある。【解決手段】サックバックバルブ20は、オン/オフ弁26と、サックバック機構28と、オン/オフ弁26の第1ダイヤフラム56の変位量を検出する第1センサ33aと、コーティング液の吸引量に対応する第2ダイヤフラム80の変位量を検出する第2センサ33bとを備え、前記第1センサ33aおよび第2センサ33bの検出信号に基づいて、オン/オフ弁26の弁変位速度、並びにコーティング液の吸引量をそれぞれフィードバック制御する制御部とを備える。
請求項（抜粋）：
流体通路を有し、一端部に第1ポートが形成され他端部に第2ポートが形成された継手部と、パイロット圧によって変位する可撓性部材の負圧作用によって前記流体通路内の圧力流体を吸引するサックバック機構と、前記パイロット圧の作用下に前記流体通路を開閉するオン/オフ弁と、前記可撓性部材の変位量を検出する変位量検出手段と、前記変位量検出手段から導出された検出信号と予め設定された変位量とを比較し、前記サックバック機構によって吸引される圧力流体の流量を電気的に制御する吸引量制御手段が設けられた制御部と、を備えることを特徴とするサックバックバルブ。
IPC (3件)：
F16K 23/00 ,  B05C 11/10 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
F16K 23/00 ,  B05C 11/10 ,  H01L 21/30 564 Z
Fターム (7件)：
4F042BA02 ,  4F042BA04 ,  4F042BA06 ,  4F042BA08 ,  4F042CC03 ,  4F042CC07 ,  5F046JA01
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (8件)
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