特許

J-GLOBAL ID：200903076425336349

蛍光X線分析方法

発明者： 片岡 由行
出願人/特許権者： 理学電機工業株式会社
代理人 (1件)： 杉本 修司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-030014
公開番号（公開出願番号）：特開平8-201319
出願日： 1995年01月25日
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：

【要約】【目的】 標準試料を用いて装置感度を求めたときと、分析対象試料から発生する蛍光X線の強度を測定したときとにおいて、各元素について測定したスペクトル線が異なる場合においても、分析対象試料における各含有元素の正確な含有率を算出することができる蛍光X線分析方法を提供する。【構成】 標準試料3の主構成元素から発生する蛍光X線6について、各元素ごとに、基準となるスペクトル線以外のスペクトル線についてもそれぞれの装置感度を算出して記憶し、分析対象試料13において強度を測定した蛍光X線6が基準となるスペクトル線以外の場合には、前記それぞれの装置感度を用いる。

請求項（抜粋）：

X線が照射された試料から発生する蛍光X線の強度に基づいて試料における元素の含有率を算出する蛍光X線分析方法において、主たる構成元素が相異なりその含有率が既知である複数の標準試料に1次X線を照射して、前記主たる構成元素から発生する蛍光X線について、各スペクトル線ごとに、その強度を測定し、その測定強度と理論強度とに基づいて装置感度を算出し、各元素ごとに、前記算出した装置感度のうち、基準となるスペクトル線についての装置感度を基準装置感度として記憶するとともに、前記基準となるスペクトル線以外のスペクトル線についてのそれぞれの装置感度を記憶し、構成元素の含有率が未知である分析対象試料に、1次X線を照射して発生した蛍光X線の強度を測定し、その蛍光X線を発生させた元素ごとに、強度を測定した蛍光X線が前記基準となるスペクトル線である場合には前記基準装置感度を用い、強度を測定した蛍光X線が前記基準となるスペクトル線以外のスペクトル線である場合には前記それぞれの装置感度を用いて、分析対象試料における元素の含有率を算出することを特徴とする蛍光X線分析方法。