特許
J-GLOBAL ID：200903076428811110
単結晶引上装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
桑井 清一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-093411
公開番号（公開出願番号）：特開平5-270975
出願日： 1992年03月19日
公開日（公表日）： 1993年10月19日
要約：
【要約】【目的】 シリコン単結晶棒を保持する機構を固定部および可動部に分け、その保持する機構の慣性力を減少させることにより、例えば直径8インチ、長さ2m、質量150kgのシリコン単結晶棒を完全に保持しながら引き上げることができる単結晶引上装置を提供する。【構成】 シリコン融液4を保持する石英坩堝3を回転、昇降自在に設ける。このシリコン融液4から突部41を有したシリコン単結晶棒40を引き上げる引上機構6を設ける。この引上機構6と連動し単結晶棒40を支持する保持機構20を設ける。この保持機構20は、単結晶棒の長さ方向に延在する結晶係合装置21と、単結晶棒40の突部41を係止し、単結晶棒40を支持する下フック27と、結晶係合装置21の一部に回動自在に設けられ、引上機構6の昇降用リング18に連動し、下フック27を動作させる上フック24と、を有する。
請求項（抜粋）：
結晶融液を保持する坩堝と、この結晶融液からその一部に突部を有した単結晶棒を引き上げる引上機構と、この引上機構と連動し単結晶棒を支持する保持機構と、を備えた単結晶引上装置において、上記保持機構は、上記単結晶棒の突部を係止しこの単結晶棒を支持する第1てこユニットと、上記引上機構に連動し、上記第1てこユニットを連動させる第2てこユニットと、を有することを特徴とする単結晶引上装置。
IPC (2件)：
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