特許

J-GLOBAL ID：200903076431032459

半導体生産ラインにおける搬送制御方法および搬送装置

発明者： 桜田 忠浩 ,  島村 英昭 ,  渡辺 親一 ,  沼田 成夫 ,  徳永 裕一
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 高崎 芳紘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-370685
公開番号（公開出願番号）：特開2000-195918
出願日： 1998年12月25日
公開日（公表日）： 2000年07月14日
要約：

【要約】【課題】 搬送システムを構成している複数のストッカにおける仕掛かりを最適化できるようにし、このことで複数のストッカに対する負荷のより一層の均等化を図り、ストッカに満杯の状態が生じることを有効に防止できるような搬送制御方法の提供。【解決手段】 生産ラインにおける複数の処理設備の間で搬送対象であるワークを搬送する複数の搬送ラインと、これら搬送ラインに隣接して設けられ、搬送ラインによるワークの搬送を中継する複数のストッカとを備えた搬送システムにおける搬送制御方法において、ストッカをそれが有するワークストック用棚の内の所定数について処理設備に割り当てる一方で、この割当ての残り棚を仮想バッファストッカとして設定し、そして発生した搬送要求に対し必要性を判断し、その結果に応じて当該搬送要求に対する搬送の実行に仮想バッファストッカを介在させるようにしたている。

請求項（抜粋）：

半導体生産ラインにおける半導体ウェハを加工処理する複数の処理設備の間で搬送対象であるワークを搬送する複数の搬送ラインと、前記複数の搬送ラインに隣接して設けられており、前記搬送ラインによるワークの搬送を中継する複数のストッカとを備えた搬送装置における半導体生産ラインにおける搬送制御方法において、前記ストッカをそれが有するワークストック用棚の内の所定数について前記処理設備に割り当てる一方で、前記割当ての残り棚を仮想バッファストッカとして設定し、そして発生した搬送要求に対し必要性を判断し、その結果に応じて当該搬送要求に対する搬送の実行に前記仮想バッファストッカを介在させるようにしたことを特徴とする半導体生産ラインにおける搬送制御方法。

Fターム (6件)：

5F031CA02 ,  5F031DA17 ,  5F031GA58 ,  5F031MA06 ,  5F031PA03 ,  5F031PA05