特許

J-GLOBAL ID：200903076432455094

半導体観察用ホルダー装置

発明者： 加藤 俊弘 ,  村瀬 眞道
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-294988
公開番号（公開出願番号）：特開平7-146224
出願日： 1993年11月25日
公開日（公表日）： 1995年06月06日
要約：

【要約】【目的】半導体集積回路の試料を走査型電子顕微鏡と集束イオンビーム装置とを交互に使用する場合、観察用治具への試料の着脱を容易に行えるようにする。【構成】FIB試料受け台1は上面に雄ネジ2と側面にFIB治具マウント3とFIB試料交換用フック4が形成されており、試料観察ホルダー5は裏面に雌ネジ6が形成されている。更に、試料観察ホルダー5の上面に半導体集積回路7を導電性接着剤で接着し、資料観察ホルダー5の雌ネジ6とFIB試料受け台1の雄ネジ2で試料観察ホルダー5とFAB試料受け台1を接続する構成としている。この試料受け台1をFIB試料室に挿入する事により半導体集積回路7の観察を行う事が可能となる。従来はSEMとFIBを交互に使用する場合、半導体集積回路7を試料観察治具に乗せ換える際に接着し直さなければならなかったが、本発明のFIB試料受け台1を使用し、試料観察ホルダーとの組合わせにより試料交換が容易に行えるようになる。

請求項（抜粋）：

片面に集束イオンビーム試料受け台と、走査型電子顕微鏡試料受け台との両方に固定しうる共用固定構造を有する試料観察ホルダーを備えた半導体観察用ホルダー装置。

IPC (5件)：

G01N 1/28 ,  G01N 23/225 ,  G01N 37/00 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/3065

FI (2件)：

G01N 1/28 W ,  H01L 21/302 D