特許
J-GLOBAL ID：200903076434119555
レーザリペア機能付顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
篠原 泰司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-072895
公開番号（公開出願番号）：特開平8-271791
出願日： 1995年03月30日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：
【要約】【目的】 レーザの照射範囲を調整可能とすることに加え、小さな面積にエネルギーを集中して微細な加工が望まれる場合にも対応可能なレーザリペア機能付顕微鏡を提供する。【構成】 基板の配線等の欠陥部分を修正するレーザリペア機能を備えた顕微鏡に於いて、少なくとも対物レンズ4を備えた結像光学系と、前記結像光学系の中間像面に置いた形状可変スリット2と、前記スリット2の像を試料5上に投影できるガイド光源22と、前記スリット2を平行光束で通過し試料5に照射する加工用レーザ光を発振するレーザヘッド1と、前記加工用レーザ光を対物レンズ4のピント位置でスポットとして集光可能にするレーザ集光レンズ6と、前記集光可能にするレーザ集光レンズ6と光路延長レンズ16とを選択採用可能にする運動案内機構とを備えている。
請求項（抜粋）：
基板の配線等の欠陥部分を修正するレーザリペア機能を備えた顕微鏡に於いて、少なくとも対物レンズを有する結像光学系を備えており、前記結像光学系の中間像面に配置した形状可変スリットと、前記スリットの像を標本上に投影できる光学系と、前記スリットを平行光束で通過し標本に照射する加工用レーザ光を発振するレーザヘッドと、前記加工用レーザ光を対物レンズのピント位置でスポットとして集光可能にする手段と、前記集光可能にする手段を選択採用可能にする手段とを備えたことを特徴とするレーザリペア機能付顕微鏡。
引用特許：
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