特許

J-GLOBAL ID：200903076438349113

クリーニング装置、クリーニング方法、露光装置及びデバイス製造方法

発明者： 田中 大士 ,  長坂 博之
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (3件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-227969
公開番号（公開出願番号）：特開2009-060029
出願日： 2007年09月03日
公開日（公表日）： 2009年03月19日
要約：

【課題】物体を良好にクリーニングできるクリーニング装置を提供する。【解決手段】クリーニング装置は、物体に向けて、物体と異なる温度のクリーニング材を噴射する第1供給口と、第1供給口から噴射されたクリーニング材の周囲の少なくとも一部を取り囲むようにクリーニング材と異なる流体を供給する第2供給口とを備えている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

物体をクリーニングするクリーニング装置であって、 前記物体に向けて、前記物体と異なる温度のクリーニング材を噴射する第1供給口と、 前記第1供給口から噴射された前記クリーニング材の周囲の少なくとも一部を取り囲むように前記クリーニング材と異なる流体を供給する第2供給口と、を備えたクリーニング装置。

IPC (2件)：

H01L 21/304 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

H01L21/304 643C ,  H01L21/30 503G ,  H01L21/304 648G

Fターム (17件)：

5F046AA17 ,  5F046DA07 ,  5F046DA30 ,  5F157AB02 ,  5F157AB12 ,  5F157AB22 ,  5F157AB33 ,  5F157AC01 ,  5F157BA06 ,  5F157BG73 ,  5F157BG76 ,  5F157BG86 ,  5F157CC11 ,  5F157CD33 ,  5F157CE36 ,  5F157DB47 ,  5F157DC88

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 米国特許出願公開第2007/0044823号明細書
  
• 米国特許第5559582号明細書