特許
J-GLOBAL ID:200903076444417287
電気めっき法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
押田 良輝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-009425
公開番号(公開出願番号):特開2002-212774
出願日: 2001年01月17日
公開日(公表日): 2002年07月31日
要約:
【要約】【課題】 高精細で、かつ画質に直接影響をおよぼす電子ビーム透過率が面内において均一なアパチャーグリルが得られる電気めっき法の提供。【解決手段】 表面に不導体膜がパターニングされたカソードとアノードを電解液中で対向し、電気めっき法によってカソード表面に金属被膜を形成した後、金属被膜をカソードから分離することによってアパチャーグリルおよびその中間体を得る方法において、各々のめっき時間に析出するめっき膜厚の平均値が等しくなるようにめっき時間を分割し、最初のめっき時間終了後、カソードあるいはアノードの一方をその対向面内で回転させた後、次のめっき時間が終了するまで電気めっきを行うことを特徴とする。
請求項(抜粋):
表面に不導体膜がパターニングされたカソードとアノードを電解液中で対向し、電気めっき法によってカソード表面に金属被膜を形成した後、金属被膜をカソードから分離することによってアパチャーグリルおよびその中間体を得る方法において、各々のめっき時間に析出するめっき膜厚の平均値が等しくなるようにめっき時間を第1のめっき時間と第2のめっき時間に分割し、第1のめっき時間終了後、カソードあるいはアノードの一方をその対向面内で面中心に対して180度回転させた後、第2のめっき時間が終了するまで電気めっきを行うことを特徴とする電気めっき法。
IPC (4件):
C25D 1/08 311
, C25D 17/06
, C25D 21/12
, H01J 9/14
FI (4件):
C25D 1/08 311
, C25D 17/06 G
, C25D 21/12 D
, H01J 9/14 G
Fターム (2件):
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