特許
J-GLOBAL ID：200903076446133570

非偏光電磁波を用いた薄膜の面内・面外モードスペクトルの測定方法

発明者：
長谷川 健

長谷川 健 について


出願人/特許権者：
財団法人新産業創造研究機構

財団法人新産業創造研究機構 について


代理人 (1件)： 板谷 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-286535
公開番号（公開出願番号）：特開2003-090762
出願日： 2001年09月20日
公開日（公表日）： 2003年03月28日
要約：
【要約】【課題】 薄膜の面内モード吸収スペクトルと面外モード吸収スペクトルを、偏光していない通常の電磁波を用いて、一つの同じ薄膜から同時に測定できる。【解決手段】 透明基板1に対して、非偏光の通常の電磁波を複数の異なる入射角で照射させ、それぞれの入射角での透過シングルビームスペクトルSobsjを測定する。そして、それらの測定スペクトルSobsjから、演算により透明基板1の面内モードスペクトルSa IPと面外モードスペクトルSa OPを算出する。次に、透明基板1と薄膜10が合さったものに対して、同様に、透過シングルビームスペクトルSobsjを測定し、その面内モードスペクトルSb IPと面外モードスペクトルSb OPを算出する。そして、Sa IPとSb IPの比Sb IP/Sa IPを演算することにより、薄膜10の面内モード吸収スペクトルSIPを算出し、Sa OPとSb OPの比SbOP/Sa OPを演算することにより、薄膜10の面外モード吸収スペクトルSOPを算出する。
請求項（抜粋）：
所定の波長帯域の非偏光電磁波を該電磁波に透明な基板上に載せた薄膜、もしくは基板を必要としない場合には薄膜そのものに対して少なくとも2つの異なる入射角で照射し、前記薄膜を透過したそれぞれの電磁波の透過シングルビームスペクトルを測定し、これら測定したスペクトルを基に、所定の演算によって、前記薄膜の面内モードについての吸収スペクトルと面外モードについての吸収スペクトルを得ることを特徴とする薄膜の面内・面外モードスペクトルの測定方法。
IPC (2件)：
G01J 3/42 ,  G01N 21/35
FI (2件)：
G01J 3/42 U ,  G01N 21/35 Z
Fターム (19件)：
2G020AA03 ,  2G020BA18 ,  2G020CA02 ,  2G020CB04 ,  2G020CB21 ,  2G020CC01 ,  2G020CD03 ,  2G020CD13 ,  2G020CD36 ,  2G020CD51 ,  2G059AA05 ,  2G059BB10 ,  2G059EE01 ,  2G059EE12 ,  2G059FF06 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ01 ,  2G059MM01 ,  2G059PP04
引用文献：
出願人引用 (4件)
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