ボールステップゲージ測定用光波干渉ステッパ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：工業技術院計量研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-172291
公開番号（公開出願番号）：特開2001-004322
出願日： 1999年06月18日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：

【要約】【課題】従来の三次元測定機において、できる限り正確な三次元測定機を用いてボールステップゲージを測定し、校正を行っていたが、現在の最高精度の三次元測定機を用いても必ずしもその精度は十分ではなかった。【解決手段】上板21の下部の第1スペーサ22の下方に3個の球体23からなる3球球面座を設け、ボールステップゲージの第1のボール5に載置する。このとき、第2スペーサ24の下方に設けた2個の円筒棒25がボール5’に載置され、また、上板21の下方に突出した小球26を、ボールステップゲージの枠体を構成しているボール5,5’の軸線と平行な面に当接させてローリング防止を行い、6点支持とする。上板21の両側にミラー支持腕30を設け、各々にねじ38を用いた位置調整手段を介してミラー32を固定する。このミラーに対して公知の光干渉計測装置40から光を当て、その位置を正確に測定する。

請求項（抜粋）：

ボールステップゲージの第1のボールに3球球面座で3点接触する第1接触部と、第2のボールにV面で2点接触する第2接触部と、ローリング防止面に1点で接触する第3接触部と、3球球面座の中心軸断面上に反射面を一致させた左右2個の反射部材とを備えたことを特徴とするボールステップゲージ測定用光波干渉ステッパ。

IPC (4件)：

G01B 11/00 , G01B 5/00 , G01B 9/02 , G01B 21/20 101

FI (4件)：

G01B 11/00 G , G01B 5/00 P , G01B 9/02 , G01B 21/20 101 Z

Fターム (45件)：

2F062AA37 , 2F062BB01 , 2F062BC56 , 2F062CC21 , 2F062EE09 , 2F062EE51 , 2F062GG75 , 2F062MM02 , 2F064BB05 , 2F064CC04 , 2F064EE09 , 2F064GG12 , 2F064GG15 , 2F064GG22 , 2F064HH01 , 2F064HH05 , 2F064JJ01 , 2F064KK01 , 2F065AA22 , 2F065BB25 , 2F065DD03 , 2F065DD06 , 2F065FF51 , 2F065HH04 , 2F065HH13 , 2F065JJ01 , 2F065JJ15 , 2F065LL00 , 2F065LL12 , 2F065LL16 , 2F065PP22 , 2F065UU03 , 2F065UU04 , 2F069AA31 , 2F069BB09 , 2F069DD15 , 2F069DD19 , 2F069GG04 , 2F069GG07 , 2F069GG12 , 2F069GG62 , 2F069HH09 , 2F069MM01 , 2F069MM11 , 2F069PP02

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