特許

J-GLOBAL ID：200903076450588271

非接触型テーブル

発明者： 福山 寛正 ,  遠藤 茂
出願人/特許権者： 日本精工株式会社
代理人 (1件)： 安形 雄三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-246941
公開番号（公開出願番号）：特開2001-069746
出願日： 1999年09月01日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
要約：

【要約】【課題】XYZ直交座標方向、傾き方向(ピッチングθ、ローリングφ)及び回転方向(ヨーイングψ)の位置決めを精密に行い得る一体構造の磁気浮上式の非接触型テーブルを提供する。【解決手段】可動テーブルと、前記可動テーブル上に設けられた回転テーブルと、前記可動テーブルを非接触浮上及び移動可能にする支持枠を具備した基台と、前記可動テーブル及び回転テーブルを浮上させて駆動するための制御装置とを設け、前記回転テーブルを前記可動テーブル上に設けられた回転テーブル基部と、前記回転テーブル基部に非接触磁気浮上可能に支持された回転テーブル本体とで構成し、前記可動テーブルをXYZ方向、ピッチング、ローリング方向に運動可能とし、前記回転テーブルを回転運動可能とする。

請求項（抜粋）：

可動テーブルと、前記可動テーブル上に設けられた回転テーブルと、前記可動テーブルを非接触浮上及び移動可能にする複数の支持枠を具備した基台と、前記可動テーブル及び回転テーブルを浮上させて駆動するための制御装置とを具備し、前記回転テーブルは前記可動テーブル上に設けられた回転テーブル基部と、前記回転テーブル基部に非接触磁気浮上可能に支持された回転テーブル本体とから成り、前記可動テーブルがXYZ方向、ピッチング、ローリング方向に運動可能であり、前記回転テーブルは回転運動可能であることを特徴とする非接触型テーブル。

IPC (2件)：

H02K 41/03 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

H02K 41/03 B ,  H01L 21/68 N

Fターム (18件)：

5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031KA08 ,  5F031LA08 ,  5H641BB09 ,  5H641BB15 ,  5H641BB16 ,  5H641BB19 ,  5H641GG02 ,  5H641GG04 ,  5H641GG08 ,  5H641GG12 ,  5H641GG24 ,  5H641GG26 ,  5H641HH08 ,  5H641HH10 ,  5H641HH12 ,  5H641JA07