特許
J-GLOBAL ID:200903076453894888
紫外殺菌ランプ用石英チューブ
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
本多 一郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-300441
公開番号(公開出願番号):特開2003-104745
出願日: 2001年09月28日
公開日(公表日): 2003年04月09日
要約:
【要約】【課題】 低圧水銀ランプ用チューブやエキシマステッパー用チューブとして好適に使用することができる紫外殺菌ランプ用石英チューブであって、紫外領域の透過率に優れ、安価で、長寿命のランプを実現することのできる紫外殺菌ランプ用石英チューブを提供する。【解決手段】 アルカリ金属珪酸塩を由来とし、総金属不純物量が1μg/g以下である高純度合成石英ガラス粒子を使用した紫外殺菌ランプ用石英チューブである。好ましくは、総金属不純物量が0.5μg/g以下である。
請求項(抜粋):
アルカリ金属珪酸塩を由来とし、総金属不純物量が1μg/g以下である高純度合成石英ガラス粒子を使用したことを特徴とする紫外殺菌ランプ用石英チューブ。
IPC (3件):
C03B 20/00
, C03C 3/06
, H01J 61/30
FI (3件):
C03B 20/00 A
, C03C 3/06
, H01J 61/30 L
Fターム (13件):
4G014AH00
, 4G062AA03
, 4G062BB02
, 4G062CC01
, 4G062DA08
, 4G062MM24
, 4G062NN16
, 5C043AA07
, 5C043AA11
, 5C043AA13
, 5C043BB04
, 5C043BB09
, 5C043CC08
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