特許
J-GLOBAL ID：200903076462251329

ダイボンダ

発明者：
織田 憲男

織田 憲男 について


出願人/特許権者：
ニチデン機械株式会社

ニチデン機械株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-176014
公開番号（公開出願番号）：特開2000-012568
出願日： 1998年06月23日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：
【要約】【課題】 ボンディング動作の速度との兼ね合いをはかりながらリングホルダ16の動作範囲を小さくして装置の小型化をする。【解決手段】 整列状態で供給された半導体ペレット3が載置されるリングホルダ16はXY方向に移動自在とし、ピックアップポジションはX方向にピックアップラインLにそって往復移動自在であり、リングホルダ16の中心Cを座標原点としてピックアップしようとする半導体ペレット3のリングホルダ16に対するX方向の想定位置座標をxとし、リングホルダ16のX方向動作範囲の略中心に設定される基準位置Sを座標原点としてピックアップポジションのX方向座標PXが下記(1)式で示される位置となり、リングホルダ16の中心位置CのX方向座標CXが略(2)式で示される位置に移動するようにする。PX=ax .........(1)CX=-(1-a)x .........(2)但し、0<a<1
請求項（抜粋）：
半導体ペレットが整列状態で供給され、その半導体ペレットを順次ピックアップ搬送して所定位置に置くダイボンダにおいて、前記供給された半導体ペレットが載置されXY方向に移動自在なペレット載置機構と、水平方向の少なくとも1方向(X方向と仮称)に往復移動自在なピックアップポジションと、XYZ方向に移動自在な真空吸着ノズルを有するペレット搬送機構とを備え、前記ペレット載置機構のX方向の略中心を座標原点としてピックアップしようとする半導体ペレットの前記ペレット載置機構に対するX方向の想定位置座標をxとし、前記ペレット載置機構のX方向動作範囲の略中心に設定される基準位置を座標原点としてその半導体ペレットに対するピックアップポジションのX方向座標PXが下記(1)式で示される位置となり、ペレット載置機構の中心位置のX方向座標CXが略(2)式で示される位置に移動することを特徴とするダイボンダ。PX=ax .........(1)CX=-(1-a)x .........(2)但し、0<a<1
IPC (2件)：
H01L 21/52 ,  H01L 21/50
FI (2件)：
H01L 21/52 F ,  H01L 21/50 C
Fターム (5件)：
5F047FA01 ,  5F047FA08 ,  5F047FA14 ,  5F047FA73 ,  5F047FA83
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • 半導体部品供給装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-252049   出願人：株式会社カイジョー
  • ダイボンディング装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-348276   出願人：日本電気株式会社
  • 特開昭64-081234

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