石英ガラスの製造装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：波多野久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-066512
公開番号（公開出願番号）：特開2002-265230
出願日： 2001年03月09日
公開日（公表日）： 2002年09月18日
要約：

【要約】【課題】原料粉供給の脈動を抑制できて、気泡の発生大幅に低減することができ、純度の高い石英ガラスを製造できる石英ガラスの製造装置を提供する。【解決手段】マス板12は、等間隔の間隙gを有し、複数個のマス孔15を連ねて円環形状に穿設された第1のマス孔列15Lと、間隙gに対向して穿設されその一部が径方向から見て第1のマス孔列15Lの隣接する2個のマス孔15に重なるように設けられた複数個のマス孔16からなり、かつ、このマス孔16が第1のマス孔列15Lに沿って円環形状に連なって形成された第2のマス孔列16Lとを有する石英ガラスの製造装置である。

請求項（抜粋）：

複数個のマス孔が等間隔の間隙を有し円環形状に連なって穿設されたマス板を回転させて、このマス板の下方に設けられた仕切板に前記マス孔に対向して穿設された供給孔から前記マス孔に収納された天然石英ガラス原料を供給する定量供給装置を有し、この定量供給装置を介して、一定量づつ供給された天然石英ガラス原料を加熱手段によって加熱、溶融し、炉体内に設けられたターゲットに石英ガラスを堆積させる石英ガラスの製造装置において、前記マス板は、等間隔の間隙を有し、複数個のマス孔を連ねて円環形状に穿設された第1のマス孔列と、前記間隙に対向して穿設されその一部が径方向から見て前記第1のマス孔列の隣接する2個のマス孔に重なるように設けられた複数個のマス孔からなり、かつ、このマス孔が第1のマス孔列に沿って円環形状に連なって形成された第2のマス孔列とを有することを特徴とする石英ガラスの製造装置。

Fターム (1件)：

4G014AH01

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平3-153537
特開昭61-122131
定量供給装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-165642 出願人：日本硝子繊維株式会社

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