特許

J-GLOBAL ID：200903076469183574

静電型アクチュエータとその製造方法

発明者： 大高 剛一
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 高野 明近
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-188923
公開番号（公開出願番号）：特開2000-015808
出願日： 1998年07月03日
公開日（公表日）： 2000年01月18日
要約：

【要約】【課題】 静電駆動の高密度インクジェットヘッドに用いることができるSi薄膜振動板の形成を可能にする。【解決手段】 多結晶Si薄膜からなる振動板11と、該振動板11に対してギャップ14を介して接合された電極基板12と、該電極基板12上に前記振動板11に対向して設けられた電極13とを有する。振動板11と電極13との間に駆動電圧を印加し、前記振動板11を静電力により変形させてインクを噴射させる。振動板11を構成する多結晶Siのそれぞれの結晶粒15が、該振動板の2つの表面のうち、少なくとも1つの表面の一部を構成している。

請求項（抜粋）：

多結晶Si薄膜からなる振動板と、該振動板に対してギャップを介して接合された電極基板と、該電極基板上に前記振動板に対向して設けられた電極を有し、前記振動板と前記電極間に駆動電圧を印加し、前記振動板を静電力により変形させる静電型アクチュエータにおいて、前記振動板を構成する多結晶Siのそれぞれの結晶粒が、該振動板の2つの表面のうち、少なくとも1つの表面の一部を構成することを特徴とした静電型アクチュエータ。

IPC (5件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 49/00 ,  H01L 21/306

FI (4件)：

B41J 3/04 103 A ,  H01L 49/00 Z ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 21/306 A

Fターム (18件)：

2C057AF55 ,  2C057AF93 ,  2C057AG54 ,  2C057AG55 ,  2C057AP02 ,  2C057AP24 ,  2C057AP52 ,  2C057AP53 ,  2C057AP54 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA05 ,  5F043AA02 ,  5F043AA32 ,  5F043BB02 ,  5F043BB22 ,  5F043FF01 ,  5F043GG06 ,  5F043GG10