特許
J-GLOBAL ID:200903076473214980

塗膜研磨方法およびその装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 大浜 博
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-007712
公開番号(公開出願番号):特開平6-218671
出願日: 1993年01月20日
公開日(公表日): 1994年08月09日
要約:
【要約】【目的】 極めて簡易な手法により研磨ツールの押圧力を安定させ得るようにする。【構成】 被研磨面Fである塗膜に対して流体圧シリンダー3の押圧力によって直交状に押し付けられる研磨ツール2を用いて研磨作業を行うに当たって、前記研磨ツール2の姿勢変化に伴う前記流体圧シリンダー3の実効負荷Wを圧力センサー11により検出し、該実効負荷Wと鉛直姿勢時における流体圧シリンダー3の基準負荷W0との偏差に基づいて修正押圧力を演算し、該修正押圧力に基づいて前記流体圧シリンダー3の押圧力制御を行うようにしている。
請求項(抜粋):
被研磨面である塗膜に対して流体圧シリンダーの押圧力によって直交状に押し付けられる研磨ツールを用いて研磨作業を行うに当たって、前記研磨ツールの姿勢変化に伴う前記流体圧シリンダーの実効負荷を圧力センサーにより検出し、該実効負荷と鉛直姿勢時における流体圧シリンダーの基準負荷との偏差に基づいて修正押圧力を演算し、該修正押圧力に基づいて前記流体圧シリンダーの押圧力制御を行うようにしたことを特徴とする塗膜研磨方法。
IPC (4件):
B24B 49/16 ,  B05C 9/12 ,  B05D 3/12 ,  B24B 27/00
引用特許:
審査官引用 (6件)
  • 特開昭63-232978
  • 特開昭63-047058
  • 特開平3-245943
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