特許

J-GLOBAL ID：200903076485679768

太陽電池の製造方法

発明者： 松野 繁 ,  藤川 正洋 ,  新延 大介
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (6件)： 曾我 道治 ,  古川 秀利 ,  鈴木 憲七 ,  梶並 順 ,  大宅 一宏 ,  上田 俊一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-325894
公開番号（公開出願番号）：特開2009-147272
出願日： 2007年12月18日
公開日（公表日）： 2009年07月02日
要約：

【課題】インクジェット法による塗布に適した形態のリン系ドーパント塗布液を用い、簡単な工程で特性の良好な太陽電池を製造する方法を提供すること。【解決手段】リン酸のアルコール溶液のドットが一部重なり合うようにリン酸のアルコール溶液をインクジェット法によりp型半導体基板に塗布する工程と、リンを熱拡散させることによりp型半導体基板上にリン濃度の異なるn型拡散層を形成する工程とを備えることを特徴とする太陽電池の製造方法である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

リン酸のアルコール溶液のドットが一部重なり合うようにリン酸のアルコール溶液をインクジェット法によりp型半導体基板に塗布する工程と、 リンを熱拡散させることによりp型半導体基板上にリン濃度の異なるn型拡散層を形成する工程と を備えることを特徴とする太陽電池の製造方法。

IPC (3件)：

H01L 31/04 ,  H01L 21/225 ,  H01L 21/22

FI (4件)：

H01L31/04 A ,  H01L21/225 R ,  H01L21/22 E ,  H01L21/22 P

Fターム (16件)：

5F051AA02 ,  5F051AA03 ,  5F051AA16 ,  5F051BA14 ,  5F051CB12 ,  5F051CB13 ,  5F051CB20 ,  5F051CB24 ,  5F051CB29 ,  5F051CB30 ,  5F051DA03 ,  5F051FA10 ,  5F051FA13 ,  5F051FA15 ,  5F051GA04 ,  5F051HA03

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 太陽電池の製造方法および製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-023431   出願人：シャープ株式会社
• エッチングおよびドーピング複合物質
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2003-537127   出願人：メルクパテントゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフトング