特許

J-GLOBAL ID：200903076489640580

薄型基板の搬送装置

発明者： 中森 孝雄 ,  桐畑 直史 ,  中野 清憲
出願人/特許権者： 株式会社メックス
代理人 (1件)： 飯田 堅太郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-223603
公開番号（公開出願番号）：特開平9-069548
出願日： 1995年08月31日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 薄型基板の搬送時間を短縮し、省スペース化を図る。【解決手段】 カセットCに収納されたガラス基板Wの一方の側面近傍に、前後方向に2か所第1距離センサ27A・27Bを配置する。薄型基板の前方に左右方向に移動可能に配置されたロボット3のハンド部5を上下、前後方向の移動と共に、水平面上での回動可能に配設し、ロボット3の上部に第2距離センサを設ける。カセットCが搬送装置Mの機台1上に配置されると、まず第1距離センサ27A・27BがカセットCに収納されたガラス基板Wの側面との距離を測定し、機台1上に配置された制御装置38を介して、ロボットを制御装置38内で計算されたガラス基板の位置ずれ及び角度ずれの補正量分補正する。その後第2距離センサ59がガラス基板Wの前面との距離を測定し、制御装置を介してロボット3のハンドアーム5Cを移動させ、ガラス基板Wを吸着して次工程カセットに搬送する。

請求項（抜粋）：

カセットに収納される薄型基板をセンタリングした後、次工程のカセットに搬送する薄型基板の搬送装置において、機台に配置されるカセットと、前記カセット内に支持される薄型基板の一方の側面近傍における前後方向の少なくとも2箇所に配置され、それぞれ、前記薄型基板側面との距離を予め検出する第1距離センサと、前記薄型基板を上方へ移動させるとともに、前後方向及び左右方向へ移動可能でかつ水平面上で回動可能なロボットと、前記第1距離センサからの信号を入力し、前記ロボットに信号を出力する制御装置と、を備え、前記第1距離センサによって検出されるデータを基に、前記制御装置が薄型基板の所定の位置に対する位置ずれ及び角度ずれの補正量を計算し、計算された前記補正量を補正して、前記ロボットを前記カセット内に移動させ、前記薄型基板を吸着後、次工程カセットに搬送することを特徴とする薄型基板の搬送装置。

IPC (6件)：

H01L 21/68 ,  B25J 15/08 ,  B65D 85/86 ,  B65G 1/00 547 ,  B65H 3/08 310 ,  B65H 5/10

FI (7件)：

H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 F ,  B25J 15/08 U ,  B65G 1/00 547 D ,  B65H 3/08 310 A ,  B65H 5/10 B ,  B65D 85/38 R