特許

J-GLOBAL ID：200903076491670861

エネルギー分散型X線分析装置

発明者： 角田博之
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 阿部 龍吉 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-050564
公開番号（公開出願番号）：特開平5-258707
出願日： 1992年03月09日
公開日（公表日）： 1993年10月08日
要約：

【要約】【目的】 液体窒素による冷却をしない状態で焼き出しを行ってもX線検出器4の温度上昇を抑え、さらにガスによる汚染を防止することができるエネルギー分散型X線分析装置を提供することを目的とするものである。【構成】 外部の冷却槽1により冷却され真空容器6内で試料から放射される特性X線を検出し分析するエネルギー分散型X線分析装置であって、冷媒を収容する冷却槽1、試料の近傍に配置されるX線検出器4、冷却槽1の底部とX線検出器4との間を接続する熱伝導棒3、下方に管状部を有し冷却槽1と熱伝導棒3とX線検出器4とを真空封入する保護容器5、及び真空容器6内の焼き出しを行う際に保護容器5と冷却槽1との間隙を真空に排気する排気手段16〜18を備える。これにより冷却槽1内の冷媒が空になってX線検出器4が室温にあっても、焼き出しの際に一旦放出されているガスを排気し真空にすることができ、X線検出器4の放出ガスによる汚染や焼き出しによる温度上昇を防ぐことができる。

請求項（抜粋）：

外部の冷却槽により冷却され真空容器内で試料から放射される特性X線を検出し分析するエネルギー分散型X線分析装置であって、冷媒を収容する冷却槽、試料の近傍に配置されるX線検出器、冷却槽の底部とX線検出器との間を接続する熱伝導棒、下方に管状部を有し冷却槽と熱伝導棒とX線検出器とを真空封入する保護容器、及び真空容器内の焼き出しを行う際に保護容器と冷却槽との間隙を真空に排気する排気手段を備えたことを特徴とするエネルギー分散型X線分析装置。

IPC (3件)：

H01J 37/244 ,  G01N 23/00 ,  G01T 1/24

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭58-050513
  
• 特開平3-254054
  
• 特開昭58-189610