特許

J-GLOBAL ID：200903076494135339

表面加工方法

発明者： 杉本 雅裕
出願人/特許権者： トヨタ自動車株式会社
代理人 (1件)： 岡田 英彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-337114
公開番号（公開出願番号）：特開平9-175835
出願日： 1995年12月25日
公開日（公表日）： 1997年07月08日
要約：

【要約】【課題】リソグラフィーを用いて凹凸形状に加工した型の表面形状を、被加工材の表面にそのまま転写することにより、被加工材の表面を所望の凹凸形状に加工できる表面加工方法を提供する。【解決手段】シリコンウエーハ等からなる型4の表面を、リソグラフィーを用いて凹凸形状に加工する予備工程と、被加工材2と前記型4との接合を防止する接合防止層8を介在させて、変形可能に加熱した被加工材2と前記型4の凹凸形状形成側とを重ね合わせる本工程とを含み、型4の表面の凹凸形状を被加工材2の表面に転写する。

請求項（抜粋）：

被加工材の表面を加工する方法であって、型の表面をリソグラフィーを用いて凹凸形状に加工する予備工程と、被加工材と前記型との接合を防止する接合防止層を介在させて、変形可能温度に加熱した被加工材と前記型の凹凸形状形成側とを重ね合わせる本工程とを含むことを特徴とする表面加工方法。