特許

J-GLOBAL ID：200903076501257399

堆積膜形成装置

発明者： 庄司 辰美 ,  望月 千織 ,  田代 和昭 ,  水谷 英正
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-089978
公開番号（公開出願番号）：特開平7-297143
出願日： 1994年04月27日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：

【要約】【目的】 カソード電極と筒状体の間の放電シールドを確実にして、放電空間外に堆積膜が形成されないようにすることによって、不要な部分の堆積膜の剥れ等により生じる堆積膜中のピンホールの発生を防止することにある。【構成】 堆積室内に配置された電極間の放電現象を利用して原料ガスを分解し、該分解により生ずる分解生成物の少なくとも一部を一方の電極上に保持された基体の表面に堆積させるための堆積膜形成装置において、前記堆積室1内に設けられた第1の電極面3と、第2の電極面2と、該電極間に配置された筒状体10とにより形成される放電空間を有し、前記第2の電極2の周囲にアースシールド板203を設けるとともに、該アースシールド板203と前記筒状体10とを電気的に接触せしめ得る電気的接触手段102を設けたことを特徴とする堆積膜形成装置。

請求項（抜粋）：

堆積室内に配置された電極間の放電現象を利用して原料ガスを分解し、該分解により生ずる分解生成物の少なくとも一部を一方の電極上に保持された基体の表面に堆積させるための堆積膜形成装置において、前記堆積室内に設けられた第1の電極面と、第2の電極面と、該電極間に配置された筒状体とにより形成される放電空間を有し、前記第2の電極の周囲にアースシールド板を設けるとともに、該アースシールド板と前記筒状体とを電気的に接触せしめ得る電気的接触手段を設けたことを特徴とする堆積膜形成装置。

IPC (2件)：

H01L 21/205 ,  H01L 21/31