特許
J-GLOBAL ID：200903076501320678
リニア駆動装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
谷川 昌夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-322802
公開番号（公開出願番号）：特開平11-154019
出願日： 1997年11月25日
公開日（公表日）： 1999年06月08日
要約：
【要約】【課題】 被駆動体に連結されて所定方向に往復動できる可動子と、光学式スケール及び可動子上に配置されるセンサを含む光学式エンコーダとを備えるリニア駆動装置であって、センサとスケールとの間の距離が多少変動したとしても正確なエンコーダ情報が得られるリニア駆動装置を提供する。【解決手段】 シャフト1に沿いX方向に往復動でき、スライダSL1に連結される可動子21と、ピッチPの反射形のメイン回折格子Gが形成されたメインスケール4と、可動子21上のエンコーダ読み取り部31とを備えるリニア駆動装置。読み取り部31は、光源311と、ピッチ4Pのスリット列からなる二次光源格子Sと、ピッチ2Pのスリット列からなるインデックス格子FAと、光源311から照射され、二次光源格子Sを通過し、メイン回折格子Gにより反射され、インデックス格子FAを通過する光を検出する受光素子RAとを有している。
請求項（抜粋）：
被駆動体を所定方向に直線的に駆動するためのリニア駆動装置であって、前記所定方向に延びるガイド部材と、前記ガイド部材に係合して該ガイド部材に沿い前記所定方向に往復動でき、前記被駆動体に連結される可動子と、前記所定方向に延び、定位置に配置され、ピッチPの反射形のメイン回折格子が形成されたメインスケール及び前記可動子上に配置されて前記メイン回折格子に臨むエンコーダ読み取り部を含む光学式エンコーダとを備えており、前記エンコーダ読み取り部は、前記メイン回折格子に向け光を照射する光源と、該光源と該メイン回折格子との間であって、該メイン回折格子から距離dの位置に配置され、前記ピッチPの偶数倍のピッチのスリット列からなる二次光源格子と、該メイン回折格子に対して該二次光源格子と同じ側で該メイン回折格子から距離dの位置に配置され、ピッチ2Pのスリット列からなるインデックス格子と、該光源から照射され、該二次光源格子を通過し、該メイン回折格子により回折反射され、該インデックス格子を通過する光を検出するために、該インデックス格子を該メイン回折格子との間に挟む位置に配置される受光素子とを有していることを特徴とするリニア駆動装置。
IPC (4件)：
G05D 3/12
, G03B 27/50
, H04N 1/04
, H02K 41/03
G05D 3/12 H
, G03B 27/50 A
, H02K 41/03 A
, H04N 1/04 Z
