アルカリ可溶性重合体及びそれを用いたポジ型感光性樹脂組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：川口嘉之 , 松倉秀実 , 遠山勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-299052
公開番号（公開出願番号）：特開2008-115263
出願日： 2006年11月02日
公開日（公表日）： 2008年05月22日
要約：

【課題】高耐溶剤性、高耐水性、高耐酸性、高耐アルカリ性、高耐熱性、高透明性、下地との密着性等に優れ、アルカリ水溶液で現像することにより得られるパターニングされた樹脂膜の形成に有用なアルカリ可溶性樹脂及びそれを含有するポジ型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】特定のビニルケトンフェノール及びその誘導体をラジカル重合性モノマーとして含むアルカリ可溶性重合体、及びこのアルカリ可溶性重合体と感光剤とを含有するポジ型感光性樹脂組成物を提供する。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

一般式(1)で表されるモノマー(A)を重合して得られるアルカリ可溶性重合体。

IPC (4件)：

C08F 16/36 , G03F 7/023 , G03F 7/038 , H01L 21/027

FI (4件)：

C08F16/36 , G03F7/023 , G03F7/038 503 , H01L21/30 502R

Fターム (41件)：

2H025AA06 , 2H025AA10 , 2H025AA14 , 2H025AA20 , 2H025AB14 , 2H025AB20 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB06 , 2H025CB14 , 2H025CB16 , 2H025CB41 , 2H025CB45 , 2H025CC20 , 2H025FA17 , 4J100AB02R , 4J100AF10P , 4J100AL08Q , 4J100AL08R , 4J100AL10Q , 4J100AM47Q , 4J100AM48Q , 4J100BA02P , 4J100BA03P , 4J100BA12P , 4J100BA15P , 4J100BA40P , 4J100BB00P , 4J100BB17P , 4J100BC04Q , 4J100BC07Q , 4J100BC43P , 4J100BC43R , 4J100BC53Q , 4J100CA03 , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100CA06 , 4J100JA37 , 4J100JA38

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開昭51-34711号公報
特開昭56-122031号公報
感放射線性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-350470 出願人：日本合成ゴム株式会社

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審査官引用 (6件)

感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-130513 出願人：富士写真フイルム株式会社
特公昭38-016338
深紫外線フォトレジスト用の反射防止膜用コーティング組成物
公報種別：公表公報出願番号：特願2000-582851 出願人：クラリアント・インターナシヨナル・リミテッド

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