高熱伝導性窒化けい素焼結体およびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：波多野久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-192559
公開番号（公開出願番号）：特開平7-048174
出願日： 1993年08月03日
公開日（公表日）： 1995年02月21日
要約：

【要約】【目的】窒化けい素焼結体が本来備える高強度特性に加えて、熱伝導率が高く放熱性に優れた窒化けい素焼結体およびその製造方法を提供する。【構成】希土類元素を酸化物に換算して2.0〜7.5重量%、Ti,Zr,Hf,V,Nb,Ta,Cr,Mo,Wの酸化物,炭化物、窒化物、けい化物、硼化物からなる群より選択される少なくとも1種を0.2〜3.0重量%、必要に応じてアルミナおよび窒化アルミニウムの少なくとも一方を0.1〜2.0重量%、その他不純物陽イオン元素としてのLi,Na,K,Fe,Ca,Mg,Sr,Ba,Mn,Bを0.3重量%以下含有し、β相型窒化けい素結晶および粒界相から成ることを特徴とする。また、粒界相中における結晶化合物相の粒界相全体に対する面積比を20%以上に設定し、さらに気孔率を容量比で1.5%以下、熱伝導率を60W/m・K以上、三点曲げ強度を室温で80kg/mm2 以上に設定する。

請求項（抜粋）：

希土類元素を酸化物に換算して2.0〜7.5重量%、Ti,Zr,Hf,V,Nb,Ta,Cr,Mo,Wの酸化物,炭化物、窒化物、けい化物、硼化物から選択される少なくとも1種を0.2〜3.0重量%、その他不純物陽イオン元素としてのLi,Na,K,Fe,Ca,Mg,Sr,Ba,Mn,Bを0.3重量%以下含有し、窒化けい素結晶および粒界相から成ることを特徴とする高熱伝導性窒化けい素焼結体。

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