特許

J-GLOBAL ID：200903076528357158

コンタクト露光機

発明者： 賀川 昌俊
出願人/特許権者： 沖電気工業株式会社
代理人 (1件)： 大垣 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-069006
公開番号（公開出願番号）：特開平11-265070
出願日： 1998年03月18日
公開日（公表日）： 1999年09月28日
要約：

【要約】【課題】 安価かつ簡単な構成で、マスク・基板間の広い領域において、両者の密着性を高めることができるコンタクト露光機を提供すること。【解決手段】 マスク20とステージ20に載置された基板28とを互いに押しつけた状態で露光を行うコンタクト露光機において、基板が載置されるステージの部分24が、ヤング係数が1000N/mm2 以下の材料で構成されていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

マスクとステージに載置された基板とを互いに押しつけた状態で露光を行うコンタクト露光機において、基板が載置される前記ステージの部分が、ヤング係数が1000N/mm2 以下の材料で構成されていることを特徴とするコンタクト露光機。

IPC (3件)：

G03F 7/20 501 ,  G02B 6/13 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/20 501 ,  G02B 6/12 M ,  H01L 21/30 503 C ,  H01L 21/30 505