露光装置の露光エネルギー量の自動調節方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-110207
公開番号（公開出願番号）：特開平6-326003
出願日： 1993年05月12日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：

【要約】【目的】露光光源の交換等による露光エネルギー量計測誤差及び光強度分布誤差を認知し、自動で補正あるいは修正すること。【構成】露光光源5,インテグレータ4,シャッタブレード3,反射平面鏡2から成る露光照明系ユニット1内で適当な露光光量を得る。露光エネルギー量計測計13ではその露光光量の計測を行い、その情報を演算器7に送る。露光光はその後パターン保持体12を透過し、縮小投影レンズ内で縮小投影され被露光体10上に結像する。被露光体ステージ9上には照度センサ8があり、光強度分布の測定を行い演算器7へその情報を送る。その演算結果より、シャッタ制御部6又は光源位置調節機構14を制御する。【効果】露光エネルギー量再設定のための時間や照度分布追い込みのための時間を1/5程度に短縮できると共に装置の完全自動化への一助となる。

請求項（抜粋）：

光でパターン保持体を照射し、それによってそのパターン保持体を透過した光を投影レンズにより被露光体に投影して、前記パターン保持体のパターンを前記露光体上に形成する露光装置において、前記被露光体上に照射する、露光エネルギー量と制御する、シャッタリング機構の、露光光源の寿命に伴う交換の際に生ずる露光光源のもつ光強度分布のバラツキ分を認知し、常に所定の露光エネルギーの指定に対して、安定した露光エネルギーの供給ができるような露光エネルギー量計測計の感度補正機能を有したことを特徴とする露光装置の露光エネルギー量の自動調節方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03B 27/72 , G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 311 S , H01L 21/30 301 G

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