特許

J-GLOBAL ID：200903076537146887

エッジビードリムーバ

発明者： 野上 玄器 ,  青山 哲男
出願人/特許権者： 三菱瓦斯化学株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-372833
公開番号（公開出願番号）：特開2001-188360
出願日： 1999年12月28日
公開日（公表日）： 2001年07月10日
要約：

【要約】【課題】 優れたレジスト溶解速度を有し、低毒性で極めて安全性が高く、環境保全にも優れ、不快臭も極めて少なく、比較的高沸点で操作性が良好であり、残さや析出物を生じることがなく、高品位の電子部品製造用基材を高効率で製造することができるエッジビードリムーバを提供する。【解決手段】 α-ヒドロキイソ酪酸メチル及び酢酸エステルを含有するエッジビードリムーバ。

請求項（抜粋）：

α-ヒドロキシイソ酪酸メチルと酢酸エステルからなる混合物であることを特徴とするエッジビードリムーバ。

IPC (4件)：

G03F 7/38 501 ,  C11D 7/26 ,  C11D 7/50 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/38 501 ,  C11D 7/26 ,  C11D 7/50 ,  H01L 21/30 577

Fターム (18件)：

2H096AA25 ,  2H096AA27 ,  2H096BA02 ,  2H096BA03 ,  2H096BA05 ,  2H096BA06 ,  2H096BA10 ,  2H096CA12 ,  2H096CA13 ,  2H096CA14 ,  2H096DA10 ,  4H003DA03 ,  4H003DA15 ,  4H003ED32 ,  4H003FA01 ,  4H003FA03 ,  4H003FA25 ,  5F046JA15