特許
J-GLOBAL ID：200903076540483908
積層型圧電素子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西澤 均
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-105169
公開番号（公開出願番号）：特開平6-291381
出願日： 1993年04月06日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：
【要約】【目的】 高度で複雑な工程を必要とすることなく、圧電体と内部電極との積層構造を有する積層型圧電素子を容易かつ経済的に製造する。【構成】 あらかじめ焼成されたセラミックシートに、積層後に内部電極となる電極を形成した後、該電極が形成された複数枚のセラミックシートを、ガラスを用いて接着することにより、圧電体中に内部電極が配設された積層構造体を形成する。
請求項（抜粋）：
圧電体中に配設された複数層の内部電極に電圧を印加して圧電体の収縮を行わせる積層型圧電アクチュエータや、圧電体の両主面に配設された外部電極と、圧電体中に配設された1層または2層以上の内部電極を有する厚み縦振動の高調波エネルギー閉じ込め型圧電共振素子などの積層型圧電素子の製造方法において、あらかじめ焼成されたセラミックシートに、積層後に内部電極となる電極を形成した後、該電極が形成された複数枚のセラミックシートを、ガラスを用いて接着することにより、圧電体中に内部電極が配設された積層構造体を形成するようにしたことを特徴とする積層型圧電素子の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 41/08 Q
, H01L 41/22 Z
