絶対位置測長装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-035308
公開番号（公開出願番号）：特開2000-234941
出願日： 1999年02月15日
公開日（公表日）： 2000年08月29日
要約：

【要約】【課題】電源投入当初から絶対位置がわかるようにした絶対位置測長装置を提供する。【解決手段】所定間隔で基準長目盛を形成した第1光学格子と該第1光学格子と並行に設けられ前記基準長目盛の複数個毎に絶対位置パターンを形成した第2光学格子とを有する移動格子手段と、前記第1光学格子を通過してきた光線を受光して電気信号に変換する第1受光手段と前記第2光学格子を通過してきた光線を受光して電気出力信号に変換する第2受光手段とを有する受光手段と、前記第1受光手段の電気出力信号から周期関数を得て該周期関数から位相位置を演算する相対位置演算手段と、前記第2受光手段の電気出力信号によって得られた絶対位置パターンから所定間隔毎の絶対位置を演算する粗絶対位置演算手段と、前記相対位置演算手段の出力と前記粗絶対位置演算手段の出力から精密絶対位置を演算する精密絶対位置演算手段とを設ける。

請求項（抜粋）：

発光手段と、該発光手段が発光する光線を透過する透過部と遮蔽する遮蔽部によって所定間隔P1で基準長目盛を形成した第1光学格子と該第1光学格子に対して並列にかつ該第1光学格子の基準長目盛の複数個毎に前記光線を透過する部分と遮蔽する部分によって格子状の絶対位置パターンを形成した第2光学格子とを有すると共に前記基準長目盛の方向に移動可能に設けられた移動格子手段と、前記第1光学格子に対向する位置に該第1光学格子の基準長目盛の方向に所定間隔P3(P3<P1)で配列し該第1光学格子を通過してきた光線を受光して電気信号に変換するN個の受光素子をS個づつR個の群に分けて(N=S×R)構成された第1受光手段と前記第2光学格子に対向する位置に前記基準長目盛の方向に所定間隔P3で配列し該第2光学格子を通過してきた光線を受光して電気出力信号に変換するM個の受光素子を1番からM番までの絶対番地に振り分けた第2受光手段とを有し前記移動格子手段に対向して配置された受光手段と、前記第1受光手段のR個の群の各n番目毎の受光素子の電気出力信号を加算してS個の加算信号に変換する加算手段と、前記加算手段の出力であるS個の加算信号から周期関数を得て該周期関数から位相位置を演算する相対位置演算手段と、前記第2受光手段のM個の受光素子の電気出力信号によって得られた絶対位置パターンから所定間隔毎の絶対位置を演算する粗絶対位置演算手段と、前記相対位置演算手段の出力と前記粗絶対位置演算手段の出力から精密絶対位置を演算する精密絶対位置演算手段とを具備することを特徴とする絶対位置測長装置。

IPC (4件)：

G01D 5/36 , G01B 11/00 , G01B 11/02 , G01D 5/249

FI (4件)：

G01D 5/36 T , G01B 11/00 C , G01B 11/02 H , G01D 5/249 L

Fターム (47件)：

2F065AA02 , 2F065AA07 , 2F065CC21 , 2F065DD02 , 2F065DD06 , 2F065DD19 , 2F065FF19 , 2F065GG03 , 2F065GG15 , 2F065GG18 , 2F065HH03 , 2F065HH13 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ19 , 2F065KK01 , 2F065MM16 , 2F065MM26 , 2F065PP02 , 2F065QQ27 , 2F065QQ28 , 2F065QQ31 , 2F065UU05 , 2F065UU06 , 2F065UU07 , 2F077AA30 , 2F077CC08 , 2F077NN27 , 2F077PP19 , 2F077QQ15 , 2F077RR03 , 2F077TT04 , 2F077TT21 , 2F077TT61 , 2F077VV01 , 2F103BA32 , 2F103BA43 , 2F103CA06 , 2F103DA04 , 2F103EB03 , 2F103EB07 , 2F103EB14 , 2F103EB31 , 2F103EB35 , 2F103ED18 , 2F103FA01 , 2F103FA15

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭57-064893
位置検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-079816 出願人：株式会社セフト研究所
特開平3-185311

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