特許

J-GLOBAL ID：200903076552887583

加熱装置

発明者： 中尾 賢 ,  桜井 誠二 ,  宮原 芳久 ,  本吉 芳之
出願人/特許権者： 東京エレクトロン東北株式会社 ,  ニチアス株式会社
代理人 (1件)： 大井 正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-046349
公開番号（公開出願番号）：特開平5-215473
出願日： 1992年02月03日
公開日（公表日）： 1993年08月24日
要約：

【要約】【目的】 耐スポーリング性、耐劣化性、耐反応性の優れた加熱装置を提供することにある。また、長期間にわたり安定に昇降温できる加熱装置を提供することにある。【構成】 カサ密度0.3〜0.8g/cm3 の無機質成形体の内面に、無機繊維製クロスで内側面が被覆されたカサ密度が1.0〜2.0g/cm3 の無機質被覆層が形成された積層体で、前記無機質被覆層が発熱体の支持部とされていることを特徴とする。また、内部の均熱領域に被処理体が配置される処理容器と、当該処理容器を取囲むよう配置された前記積層体と、この積層体における無機質被覆層に支持された発熱体とを備えてなる加熱装置において、前記処理容器の均熱領域を冷却する冷却手段を設けたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

カサ密度0.3〜0.8g/cm3 の無機質成形体の内面に、無機繊維製クロスで内側面が被覆されたカサ密度が1.0〜2.0g/cm3の無機質被覆層が形成された積層体で、前記無機質被覆層が発熱体の支持部とされていることを特徴とする加熱装置。

IPC (3件)：

F27D 11/02 ,  H01L 21/22 ,  H05B 3/64