特許

J-GLOBAL ID：200903076564724183

現像可能な光硬化性組成物

発明者： 藤本 寿一 ,  塗師 誠司 ,  福島 洋
出願人/特許権者： 三菱レイヨン株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-131768
公開番号（公開出願番号）：特開2001-312061
出願日： 2000年04月28日
公開日（公表日）： 2001年11月09日
要約：

【要約】【課題】 光感度に優れたフォトレジスト組成物として有用な、現像可能な光硬化性組成物を提供する。【解決手段】 分子内に1または2個のラジカル重合可能なエチレン性不飽和結合を有する化合物(a1)および分子内に3個以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物(a2)を重合して得られ、平均一次粒子径が10〜1000nmの範囲にある架橋微粒子(A)5〜40質量%と、分子内に(メタ)アクリロイル基を有する化合物(B)95〜60質量%とからなる配合物100質量部に対して、光重合開始剤(C)が0.01〜20質量部添加されている光硬化性組成物。

請求項（抜粋）：

分子内に1または2個のラジカル重合可能なエチレン性不飽和結合を有する化合物(a1)および分子内に3個以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物(a2)を重合して得られ、平均一次粒子径が10〜1000nmの範囲にある架橋微粒子(A)5〜40質量%と、分子内に(メタ)アクリロイル基を有する化合物(B)95〜60質量%とからなる配合物100質量部に対して、光重合開始剤(C)が0.01〜20質量部添加されていることを特徴とする光硬化性組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/027 502 ,  C08F 2/44 ,  C08F 2/50 ,  C08F291/00 ,  G03F 7/004 501

FI (5件)：

G03F 7/027 502 ,  C08F 2/44 C ,  C08F 2/50 ,  C08F291/00 ,  G03F 7/004 501

Fターム (87件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA11 ,  2H025AB11 ,  2H025AB13 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025BC83 ,  2H025BC85 ,  2H025BJ03 ,  2H025CB54 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  4J011AC04 ,  4J011PA65 ,  4J011PA67 ,  4J011PA68 ,  4J011PA69 ,  4J011PA70 ,  4J011PB06 ,  4J011PB40 ,  4J011PC02 ,  4J011PC08 ,  4J011QA03 ,  4J011QA12 ,  4J011QA13 ,  4J011QA14 ,  4J011QA15 ,  4J011QA18 ,  4J011QA22 ,  4J011QA23 ,  4J011QA24 ,  4J011QA25 ,  4J011QA35 ,  4J011QB14 ,  4J011QB16 ,  4J011QB19 ,  4J011QB20 ,  4J011QB24 ,  4J011RA03 ,  4J011RA12 ,  4J011SA05 ,  4J011SA06 ,  4J011SA22 ,  4J011SA24 ,  4J011SA25 ,  4J011SA34 ,  4J011SA54 ,  4J011SA61 ,  4J011SA63 ,  4J011SA64 ,  4J011SA82 ,  4J011SA84 ,  4J011UA01 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J026AA17 ,  4J026AA18 ,  4J026AA19 ,  4J026AA31 ,  4J026AA37 ,  4J026AA38 ,  4J026AA40 ,  4J026AA43 ,  4J026AA44 ,  4J026AA45 ,  4J026AA46 ,  4J026AA47 ,  4J026AA48 ,  4J026AA50 ,  4J026AA76 ,  4J026AC31 ,  4J026BA27 ,  4J026BA28 ,  4J026BA29 ,  4J026BA30 ,  4J026BB01 ,  4J026BB04 ,  4J026DA04 ,  4J026DB06 ,  4J026DB36 ,  4J026FA02 ,  4J026FA09 ,  4J026GA07