特許

J-GLOBAL ID：200903076567505679

露光光源ならびに露光方法および露光装置ならびに半導体装置の製造方法

発明者： 武久 究
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-074242
公開番号（公開出願番号）：特開平10-270325
出願日： 1997年03月26日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：

【要約】【課題】 真空紫外域で十分な高平均出力の狭帯域化されたレーザ光を長時間安定して発生できる露光光源を提供する。【解決手段】 XeClエキシマレーザ101から取り出されたレーザ光L1は、ビームスプリッタ105aに当たり、そのパワーの約30%が、色素レーザ発振器102の励起光源として用いられ、波長416nmのレーザ光L3が発振する。色素レーザ発振器102では狭帯域化素子であるエタロン110が用いられており、レーザ光L3は狭帯域化されている。レーザ光L3は、ビームスプリッタ105aを透過し、ミラー111を経由して入射される約70%のパワーのレーザ光L4にて増幅動作を行う色素レーザ増幅器103で増幅され、波長変換部104内の非線形光学結晶112中に集光する。それにより第2高調波である波長208nmのレーザ光L6が発生し、露光光L7として利用される。

請求項（抜粋）：

エキシマレーザと、波長狭帯域化素子を含む色素レーザ発振器と、非線形光学結晶とを含み、前記色素レーザ発振器は、前記エキシマレーザを励起光源としてレーザ動作し、前記色素レーザ発振器から取り出されたレーザ光を前記非線形光学結晶によって波長変換して得られるレーザ光を露光光として出力することを特徴とする露光光源。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521

FI (4件)：

H01L 21/30 515 B ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D