特許

J-GLOBAL ID：200903076572576169

円柱状ワークの切断方法及びこれに用いる保持具

発明者： 片野 卓 ,  稲葉 章浩
出願人/特許権者： エム・イー・エム・シー株式会社
代理人 (1件)： 渡邉 一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-364509
公開番号（公開出願番号）：特開2001-185513
出願日： 1999年12月22日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
要約：

【要約】【課題】 ワイヤーと円柱状ワークとの相対振動を抑制し、ウエハの割れを防止することができる円柱状ワークの切断方法及びこれに用いる保持具を提供する。【解決手段】 円柱状ワーク1と保持具10との同時切削開始時に生じる切削抵抗の急激な増加を抑制することができる円柱状ワークの切断方法である。保持具10は、円柱状ワーク1を接着剤を用いて固定する円柱状ワーク1の曲面形状に対応した凹部12と、凹部12から溢れ出た接着剤を受容する凹部12の両端に設けられた縁部14a,14bとを備えたものであり、縁部14a,14bを凹部12のワイヤーの切削終了点(E-E)以降に設けたものである。

請求項（抜粋）：

作業台に保持具で保持された円柱状ワークを、高速で走行するワイヤーに押しつけるとともに、研磨砥粒を含有するスラリーを該ワイヤーに供給しつつ、該円柱状ワークをウエハに切断する円柱状ワークの切断方法であって、該円柱状ワークと保持具との同時切削開始時に生じる切削抵抗の急激な増加を抑制することができる保持具を用いることにより、該ワイヤーと該円柱状ワークとの相対振動を抑制し、ウエハの割れを防止することを特徴とする円柱状ワークの切断方法。

IPC (3件)：

H01L 21/304 611 ,  B24B 27/06 ,  B24B 41/06

FI (3件)：

H01L 21/304 611 W ,  B24B 27/06 F ,  B24B 41/06 Z

Fターム (7件)：

3C034AA17 ,  3C034DD10 ,  3C058AA05 ,  3C058AB04 ,  3C058CB02 ,  3C058DA03 ,  3C058DA17