特許
J-GLOBAL ID:200903076572861475
水晶振動子のベベル加工方法
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-090867
公開番号(公開出願番号):特開2001-285000
出願日: 2000年03月29日
公開日(公表日): 2001年10月12日
要約:
【要約】【目的】特に加工時間を短縮して加工性に優れた水晶振動子のベベル加工方法を提供する。【構成】水晶片の外周を斜めに切除してなる水晶振動子のベベル加工方法において、前記水晶片を厚み方向に接合して一体化水晶体を形成し、前記一体化水晶体をエッチング液中に投入して前記一体化水晶体における接合面の外周を斜めに切除した構成とする。
請求項(抜粋):
水晶片の外周を斜めに切除してなる水晶振動子のベベル加工方法において、前記水晶片を厚み方向に接合して一体化水晶体を形成し、前記一体化水晶体をエッチング液中に投入して前記一体化水晶体における接合面の外周を斜めに切除したことを特徴とする水晶振動子のベベル加工方法。
IPC (4件):
H03H 3/02
, H01L 41/09
, H01L 41/22
, H01L 21/306
FI (4件):
H03H 3/02 B
, H01L 41/08 C
, H01L 41/22 Z
, H01L 21/306 D
Fターム (5件):
5F043AA40
, 5F043BB22
, 5F043FF03
, 5F043GG10
, 5J108MM08
引用特許:
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