特許
J-GLOBAL ID：200903076573344415
研磨定盤の洗浄方法およびその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
矢葺 知之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-130312
公開番号（公開出願番号）：特開平9-309063
出願日： 1996年05月24日
公開日（公表日）： 1997年12月02日
要約：
【要約】【課題】 短時間で研磨定盤を洗浄することができ、研磨加工精度を向上することができる研磨定盤の洗浄方法およびその装置を提供する。【解決手段】 研磨面に多数の排出溝2が設けられた研磨定盤1を洗浄する方法において、排出溝2の内部に向かって高圧洗浄液を噴射する。
請求項（抜粋）：
研磨面に多数の排出溝が設けられた研磨定盤を洗浄する方法において、排出溝の内部に向かって高圧洗浄液を噴射することを特徴とする研磨定盤の洗浄方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24B 37/00 A
, B24B 53/007
