特許
J-GLOBAL ID：200903076585301010
針状金属酸化物構造体の製造方法及び製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 敬介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-290648
公開番号（公開出願番号）：特開2004-124180
出願日： 2002年10月03日
公開日（公表日）： 2004年04月22日
要約：
【課題】大気開放型のCVD装置によって、基板上に形状の揃った針状金属酸化物構造体を再現性よく製造する方法及び装置を提供する。【解決手段】大気開放型CVD法において、揮発性または昇華性を有する少なくとも1種の金属化合物を含有する気体をノズルまたはスリットを通して基板の置かれた反応帯域に噴出して、基板上に針状金属酸化物構造体を形成するにあたり、その反応帯域を隔壁で囲うことを特徴とする。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
基板と該基板表面に直交する方向に伸びる複数の針状金属酸化物とを少なくとも有する構造体の製造方法であって、
揮発性または昇華性を有する少なくとも1種の金属化合物であって、少なくとも1種の酸化物形成物質と反応して金属酸化物を形成する金属化合物を気化させてキャリアガス中に混合させた金属化合物含有気体を、該酸化物形成物質を含む大気圧雰囲気にある反応帯域に置かれた基板上に、ノズルまたはスリットから噴射して、上記基板上に複数の針状金属酸化物を形成する大気開放型の化学気相蒸着工程において、上記ノズルまたはスリットと基板の間の反応帯域を隔壁で囲うことを特徴とする針状金属酸化物構造体の製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (11件)：
4K030AA02
, 4K030AA11
, 4K030BA42
, 4K030BA43
, 4K030BA44
, 4K030BA45
, 4K030BA46
, 4K030BA47
, 4K030BB11
, 4K030FA10
, 4K030JA09
