特許

J-GLOBAL ID：200903076585670466

荷電粒子の二重モ-ド検知

発明者： ポール ジェイ. デュバル ,  ステファン ダブリュ. イント ,  イラ ローゼンバーグ ,  ニール エス. カサ ,  ケニス エイチ. ブラウン ,  ブラディミール ベイナー
出願人/特許権者： シュルンベルジェ テクノロジーズ, インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 小橋 一男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-323309
公開番号（公開出願番号）：特開2000-164167
出願日： 1999年11月12日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：

【要約】【課題】 高エネルギ荷電粒子と低エネルギ荷電粒子の別々の読みを同時的に得ることが可能な技術を提供する。【解決手段】 本発明装置は、サンプルによって射出された高エネルギ及び低エネルギ荷電粒子を検知する。これらの荷電粒子は高エネルギ検知器及び低エネルギ検知器で検知される。低エネルギ荷電粒子は高エネルギ検知器及び/又は偏向器によって低エネルギ検知器へ指向される。

請求項（抜粋）：

サンプルから発生された高エネルギ及び低エネルギ荷電粒子を検知する装置において、高エネルギ荷電粒子を検知する高エネルギ検知器、低エネルギ荷電粒子を検知する低エネルギ検知器、を有しており、前記高エネルギ検知器が低エネルギ荷電粒子を前記低エネルギ検知器へ向かって偏向させるように配設されており、前記低エネルギ検知器が前記偏向された低エネルギ荷電粒子を検知するように配設されていることを特徴とする装置。

IPC (4件)：

H01J 37/244 ,  G01N 23/225 ,  G01T 1/29 ,  H01J 49/44

FI (4件)：

H01J 37/244 ,  G01N 23/225 ,  G01T 1/29 B ,  H01J 49/44