特許

J-GLOBAL ID：200903076589706163

着色膜測定方法

発明者： 宝田 真一
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-075754
公開番号（公開出願番号）：特開2003-269925
出願日： 2002年03月19日
公開日（公表日）： 2003年09月25日
要約：

【要約】【課題】 インクジェットヘッドを用いてカラー薄膜を形成したカラーフィルタを製造する際に発生する筋むらにより、ヘッドの各ノズル特性の違いを、きわめて高精度で測定すること。【解決手段】 同じノズルで形成された薄膜部分を多数点で測定し、それらを平均化することにより、高いダイナミックレンジでの測定を可能とする。このために、カラーフィルタに照明を当て、同一のノズルで形成された各部分を透過した光をラインセンサで同時に多数点測定すると共に、同条件にて、別のノズルで形成された各部分を逐次測定する。

請求項（抜粋）：

透明基板上に形成された着色膜に照明光を当て、当該着色膜を透過した光量を測定することにより、着色膜の膜厚を測定する方法において、光量測定には光強度を測定するセンサを複数集積したラインセンサを用いることにより、着色膜の製造原理上同じ膜厚となる部分の透過光量を少なくとも2ヶ所以上で測定し、これらの値を用いて着色膜の膜厚を求めることを特徴とする着色膜測定方法。

IPC (2件)：

G01B 11/06 ,  G02B 5/20 101

FI (2件)：

G01B 11/06 Z ,  G02B 5/20 101

Fターム (28件)：

2F065AA30 ,  2F065BB01 ,  2F065BB23 ,  2F065CC02 ,  2F065CC21 ,  2F065CC31 ,  2F065DD06 ,  2F065FF23 ,  2F065FF49 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL12 ,  2F065LL22 ,  2F065LL28 ,  2F065LL30 ,  2F065MM03 ,  2F065NN20 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ42 ,  2F065TT08 ,  2H048BA00 ,  2H048BA02