特許
J-GLOBAL ID:200903076589720972

圧電加速度センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高橋 友二 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-163342
公開番号(公開出願番号):特開平5-333045
出願日: 1992年06月01日
公開日(公表日): 1993年12月17日
要約:
【要約】【目的】 ベース上に圧電体を介して慣性物体を取り付け、受けた加速度により慣性物体からの慣性力が圧電体に作用して圧電効果により圧電体にチャージされる電荷量を検出して加速度を測定する圧電加速度センサを高性能な装置とする。【構成】 例えばジルコン酸チタン酸鉛,チタン酸鉛,チタン酸バリウム等の圧電材料を用いて、多数の空孔が形成された多孔質圧電材質で構成した圧電体を使用する。
請求項(抜粋):
加速度を測定する測定対象物に設置されるベース上に、その両端に取り出し電極が設けられた圧電体を介して慣性物体を取り付けて成り、受けた加速度により慣性物体からの慣性力が圧電体に作用して圧電効果(piezoelectric effect)により圧電体にチャージされる電荷量を検出して加速度を測定する圧電加速度センサにおいて、装置に使用する圧電体に、例えばジルコン酸チタン酸鉛,チタン酸鉛,チタン酸バリウム等の圧電材料を用いて、多数の空孔が形成された多孔質圧電材質で構成した圧電体を使用することを特徴とする圧電加速度センサ。
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • 特開昭61-136973
  • 特開昭57-052184
  • 特開昭57-087188

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