特許
J-GLOBAL ID：200903076593975764
炭酸ガスレーザ発振器の起動方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中井 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-345345
公開番号（公開出願番号）：特開平7-176816
出願日： 1993年12月20日
公開日（公表日）： 1995年07月14日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、炭酸ガスレーザ発振器の起動方法を改善するものである。【構成】 本発明は、レーザ発振器の共振器管8内を所定の圧力まで真空排気する真空排気シーケンス、所定の圧力に達したときに共振器管8内に所定の作動ガスを所定の圧力になるまで供給する作動ガス供給シーケンス及びレーザ発振が適正に行われる圧力にまで作動ガスを供給する発振適正ガス圧力待機シーケンスからなる準備工程を完了する炭酸ガスレーザ発振器の起動方法において、レーザ発振器のレーザガス中の水分量または不純ガスの濃度を検出して、検出された濃度値が予め設定された数値以下になるまで準備工程を繰り返した後に、共振器管8内の電極3a乃至3d及び4a乃至4dに高電圧を印加することを特徴としている。
請求項（抜粋）：
レーザ発振器の共振器管内を所定の圧力まで真空排気する真空排気シーケンス、前記所定の圧力に達したときに共振器管内に所定の作動ガスを所定の圧力になるまで供給する作動ガス供給シーケンス及びレーザ発振が適性に行われる圧力にまで作動ガスを供給する発振適性ガス圧力待機シーケンスからなる準備工程を完了する炭酸ガスレーザ発振器の起動方法において、レーザ発振器のレーザガス中の水分量又は不純ガスの濃度を検出して、前記検出された濃度値が予め設定された数値以下になるまで前記準備工程を繰り返した後に、共振器管内の電極に高電圧を印加する炭酸ガスレーザ発振器の起動方法。
IPC (3件)：
H01S 3/097
, H01S 3/02
, H01S 3/08
H01S 3/097 Z
, H01S 3/02 Z
, H01S 3/08 Z
