特許

J-GLOBAL ID：200903076603166479

電子ビーム描画装置の描画データ生成方法及び生成装置

発明者： 森下 和正
出願人/特許権者： 富士通株式会社 ,  富士通ヴィエルエスアイ株式会社
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-184374
公開番号（公開出願番号）：特開平9-036021
出願日： 1995年07月20日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：

【要約】【課題】本発明は複数の処理対象領域に登録する描画データの演算処理を並行に行いながら、描画データの図形の欠落やオーバーラップを未然に防止し得る電子ビーム描画装置用の描画データ生成方法を提供することを目的とする。【解決手段】分割図形が矩形領域に包含されているとき及び分割図形が外部マージンの内にあり、かつ少なくとも一部が内部マージンより内にあるとき、分割図形が矩形領域に登録される。分割図形の一部が外部マージンより外にあり、分割図形の少なくとも一部が内部マージンより内にあるときは、分割図形が矩形領域の境界線で切断されて、境界線内図形と境界線外図形とに分割され、境界線内図形が矩形領域に登録される。矩形領域のマージン領域内に存在する図形は、その矩形領域と、マージン領域を共有する他の矩形領域とのうち、いずれか一つに登録される。

請求項（抜粋）：

マスクパターンの図形データを電子ビーム描画装置で描画可能な図形に分割し、かつその分割図形を境界線で区画された複数の矩形領域に分割して描画データとして登録する処理を複数の処理装置で並行して行う描画データ生成方法であって、前記矩形領域の境界線を基準としてその内部及び外部に所定幅の内部マージン及び外部マージンを設定し、前記内部マージンと外部マージンとで構成されるマージン領域は、隣接する矩形領域で共有し、前記分割図形が前記矩形領域に包含されているとき及び前記分割図形が前記外部マージンの内にあり、かつ少なくとも一部が内部マージンより内にあるとき、該分割図形を該矩形領域に登録し、前記分割図形の一部が外部マージンより外にあり、該分割図形の少なくとも一部が内部マージンより内にあるときは、当該分割図形を当該矩形領域の境界線で切断して、境界線内分割図形と境界線外分割図形とに分割するとともに、該境界線内分割図形を該矩形領域に登録し、前記各矩形領域のマージン領域内に存在する図形は、該矩形領域と、該マージン領域を共有する他の矩形領域とのうちのいずれか一つに登録することを特徴とする電子ビーム描画装置の描画データ生成方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 521

FI (5件)：

H01L 21/30 541 M ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 541 J ,  H01L 21/30 541 A