特許

J-GLOBAL ID：200903076613592409

モータ駆動装置、ステージ装置、及び露光装置

発明者： 下村 英明
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 古谷 史旺
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-225039
公開番号（公開出願番号）：特開2003-037994
出願日： 2001年07月25日
公開日（公表日）： 2003年02月07日
要約：

【要約】【課題】 モータ駆動回路間のキャリア信号の周波数差に起因するビート、及びビートに起因する低周波ノイズをなくし、モータの制御を高精度化する。【解決手段】 キャリア信号発生回路を1つだけ設けて、各モータ駆動回路に同一周波数のキャリア信号を提供する。これによって、モータ駆動回路間のキャリア信号の周波数差に起因するビート、及びビートに起因する低周波ノイズをなくし、モータの制御を高精度化する。また、ビートをなくしたモータ駆動装置をステージ装置に搭載して、位置制御の高精度化を図る。さらに、前記ステージ装置を露光装置に搭載して、正確な露光を可能にする。

請求項（抜粋）：

一つの発振回路と、前記発振回路から生成された一つの出力を共通のキャリア信号として用いると共に、モータを構成する複数のコイルの各々に駆動電流を流す複数のPWM駆動回路とを備えたことを特徴とするモータ駆動装置。

IPC (2件)：

H02P 7/00 101 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

H02P 7/00 101 H ,  H01L 21/30 503 A

Fターム (11件)：

5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC19 ,  5H540AA10 ,  5H540BA01 ,  5H540BB01 ,  5H540BB06 ,  5H540EE08 ,  5H540EE15 ,  5H540FC02 ,  5H540GG10