特許

J-GLOBAL ID：200903076623736786

可変多角形断面の電子線形成装置およびこれを用いた電子線描画装置

発明者： 巻島 秀男
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-314423
公開番号（公開出願番号）：特開平8-171880
出願日： 1994年12月19日
公開日（公表日）： 1996年07月02日
要約：

【要約】【目的】 露光時間を短くでき、電子光学系および陰極の構造と制御が簡単な、可変多角形断面の電子線を形成できる電子線形成装置と描画装置とを提供する。【構成】 可変矩形断面の成形電子ビームの電子源に、平面状の冷陰極アレイを使用し、その電子放出領域が可変の矩形となるように、冷陰極の電極をエミッタ電極を構成する複数のストライプ22-1,〜,22-5,22-2’,〜,22-5’と、ゲート電極を構成するストライプ24-1,〜,24-5,24-2’,〜,24-5’とに分割し、この電極に印加する電圧を制御する。制御により電極は種々の矩形形状の電子放出領域を形成する。矩形形状が変化すれば、電子線形成装置から放出される電子線の断面形状もそれに倣って変化する。

請求項（抜粋）：

それぞれが、電子ビームを放出可能にされている複数の微小冷陰極を具備する複数の第1の電極と、微小冷陰極に対面する開口を有し、第1の電極から電子ビームを放出させる複数の第2の電極と、冷陰極アレイから放出される電子ビームを収束して電子線を形成する収束レンズと、複数の第1の電極ならびに複数の第2の電極群のうちからそれぞれ電圧を印加する電極を適宜に選択し、冷陰極アレイの電子放出領域の形状を変えることにより電子線の断面形状を変える電子線断面形状制御手段とを有することを特徴とする可変多角形断面の電子線形成装置。

IPC (6件)：

H01J 37/073 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 521 ,  G21K 5/04 ,  H01J 37/147 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-155739
  
• 特開昭60-175352
  
• 特開昭57-187849