特許
J-GLOBAL ID：200903076625192449
基板移載機
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-215066
公開番号（公開出願番号）：特開平6-061334
出願日： 1992年08月12日
公開日（公表日）： 1994年03月04日
要約：
【要約】【構成】 基板2を吸着および解放する吸着パッド5が設けられた吸着ヘッド4を移動可能に有している。上記吸着パッド5は、柔軟性および密閉性の高い材質によって形成されている。また、吸着ヘッド4には、吸着パッド5から基板2を解放させる際に、基板2が治具3の収容部3a外に上昇することを阻止する当接部材12を備えたエアーシリンダー13が設けられている。【効果】 吸着パッド5が柔軟性および密閉性の高い材質によって形成されているため、吸着パッド5と基板2との強固な密接によって良好な吸着力を得ることができ、移動時における脱落を防止できる。当接部材12が基板2の収容部3a外への上昇を阻止するため、収容部3a内で吸着パッド5から基板2を強制的に離反させることができ、基板2の治具3からの脱落を防止できる。
請求項（抜粋）：
基板を吸着および解放する吸着パッドが設けられた吸着ヘッドを移動可能に有し、上記吸着パッドから基板を解放させながら吸着ヘッドを上昇させることによって、基板を治具の収容部内に装着する基板移載機において、上記吸着パッドは、柔軟性および密閉性の高い材質によって形成されており、上記吸着ヘッドには、吸着パッドから基板を解放させる際に、基板が治具の収容部外に上昇することを阻止する上昇阻止手段が設けられていることを特徴とする基板移載機。
IPC (2件)：
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