MEMS光学装置を利用するための結像技術

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三俣弘文 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-192121
公開番号（公開出願番号）：特開2003-043384
出願日： 2002年07月01日
公開日（公表日）： 2003年02月13日
要約：

【要約】【課題】 MEMS光学装置を利用するための結像技術を提供する。【解決手段】 MEMS光学装置は、第1および第2の光学装置の各々の少なくとも1つのマイクロミラーの傾斜角を効果的に結合するように、第2のMEMS光学装置が位置する異なる位置で結像される。この結像系は、第1のマイクロミラーからの光の反射角を再現することができる。これは、4f系、としても知られているテレセントリック系を結像系として用いて実現することができる。光路を圧縮することによって、たとえば適切な従来のミラーを用いることおよび/または折畳み配置、すなわち少なくとも1つの従来のミラーを用いて入力および出力の両方の二役を担う1つのみのMEMS装置ステージがある配置を利用することによって、この配置の物理的大きさを減小することができる。

請求項（抜粋）：

第1の数のマイクロミラーを含む第1のマイクロ電気機械式(MEMS)装置と、第2の数のマイクロミラーを含む第2のマイクロ電気機械式(MEMS)装置と、前記第1のMEMS装置の前記マイクロミラーの各々の画像を前記第2のMEMS装置の対応するマイクロミラーに形成するために、前記第1のMEMS装置に光学的に結合される第1の結像系とを有し、前記第1のMEMS装置の前記マイクロミラーの少なくとも1つが、前記第2のMEMS装置の前記マイクロミラーの少なくとも1つとグループを作り、前記第1のMEMS装置の前記少なくとも1つのグループを作るマイクロミラーからの反射角および前記第2のMEMS装置の前記少なくとも1つのグループを作るマイクロミラーからの反射角が、前記グループに対する全体有効角を形成するように組み合わされることを特徴とする光スイッチ。

Fターム (6件)：

2H041AA17 , 2H041AB14 , 2H041AB15 , 2H041AC06 , 2H041AZ02 , 2H041AZ05

引用特許：

出願人引用 (1件)

光スイッチ
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-142370 出願人：沖電気工業株式会社

審査官引用 (1件)

光スイッチ
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-142370 出願人：沖電気工業株式会社

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