特許

J-GLOBAL ID：200903076631832492

トランジスタの製造方法

発明者： テイス,スティーブン ディー. ,  バウド,ポール エフ. ,  ハーゼ,マイケル エー. ,  テイス,シルバ ケー.
出願人/特許権者： スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー
代理人 (5件)： 青木 篤 ,  石田 敬 ,  古賀 哲次 ,  永坂 友康 ,  西山 雅也
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-502343
公開番号（公開出願番号）：特表2005-531131
出願日： 2003年04月17日
公開日（公表日）： 2005年10月13日
要約：

ソース電極とドレイン電極フィーチャーとを固定されたシャドウマスクにある単一アパーチャを通して基板上に蒸着させる工程を含み、前記アパーチャが少なくとも2つの対向端部を有しており、フィーチャーの形状がアパーチャおよび基板に対するソース材料の位置により画定されている、トランジスタの製造方法。

請求項（抜粋）：

ソース電極およびドレイン電極フィーチャーを、固定されたシャドウマスクにある単一アパーチャを通して基板上に堆積させる工程を含む、トランジスタの製造方法であって、前記アパーチャが少なくとも2つの対向縁部を有しており、前記フィーチャーの形状が前記アパーチャおよび前記基板に対するソース材料の位置により画定されている方法。

IPC (4件)：

H01L21/336 ,  H01L21/285 ,  H01L29/417 ,  H01L29/786

FI (5件)：

H01L29/78 616K ,  H01L21/285 P ,  H01L29/50 M ,  H01L29/78 618B ,  H01L29/78 618A

Fターム (40件)：

4M104AA09 ,  4M104BB02 ,  4M104BB03 ,  4M104BB05 ,  4M104BB06 ,  4M104BB07 ,  4M104BB08 ,  4M104BB09 ,  4M104BB13 ,  4M104BB14 ,  4M104BB36 ,  4M104DD34 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  5F110AA16 ,  5F110AA28 ,  5F110BB01 ,  5F110BB04 ,  5F110CC07 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110EE01 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE09 ,  5F110FF01 ,  5F110FF02 ,  5F110GG02 ,  5F110GG04 ,  5F110GG05 ,  5F110GG15 ,  5F110GG28 ,  5F110HK01 ,  5F110HK02 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HK32 ,  5F110QQ01