走査型電子顕微鏡装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三好祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-097802
公開番号（公開出願番号）：特開平8-273578
出願日： 1995年03月30日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：

【要約】【目的】光学顕微鏡を有する走査型電子顕微鏡装置に於いて、光学顕微鏡の試料室内での占有空間をなくし、試料室の内部空間を有効に利用できる様にすると共に、試料の厚みに変更があった場合にも容易に対応し得る。【構成】走査型電子顕微鏡3に設けられた試料室4の外に該走査型電子顕微鏡の光軸と試料上で交差する光軸を有する長焦点距離光学顕微鏡19を設け、光学顕微鏡を光軸に対して交差する方向に移動可能とし光学顕微鏡の光軸と走査型電子顕微鏡の光軸の交点が上下方向に移動する様にしたので、光学顕微鏡の試料室内での占有空間をなくし、試料室の内部空間を有効に利用できる様にすると共に、試料の上下位置に変更があった場合にも容易に対応し得る。

請求項（抜粋）：

走査型電子顕微鏡に設けられた試料室の外に該走査型電子顕微鏡の光軸と試料上で交差可能な光軸を有する長焦点距離光学顕微鏡を設けたことを特徴とする走査型電子顕微鏡装置。

IPC (3件)：

H01J 37/22 502 , H01J 37/22 , H01J 37/244

FI (5件)：

H01J 37/22 502 L , H01J 37/22 502 A , H01J 37/22 502 H , H01J 37/22 502 J , H01J 37/244

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開平4-106853
特開平4-308639
特開昭62-005547

全件表示

前のページに戻る